真空泵系统在真空镀膜中的应用

真空镀膜技术是真空泵应用技术的一个重要分支，它已普遍地应用于光学、电子学、能源开发，理化仪器、建筑机械、包装、民

用制品、外表科学以及科学研讨等范畴中。真空镀膜所采用的办法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流堆积镀以及分子束外延

等。此外还有化学气相堆积法。假如从真空镀膜的目的是为了改动物质外表的物理、化学性能的话，这一技术又是真空外表处置

技术中的重要组成局部。现就其几个主要应用方面做一简单引见。首先在光学方面，一块光学玻璃或石英外表上镀一层或几层不

同物质的薄膜后，即可成为高反射或无反射（即增透膜）或者作任何预期比例的反射或透射资料，也能够作成对某种波长的吸收

，而对另一种波长的透射的滤色片。高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜茉莉，都

很需求。增透膜则大量用于照相和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜玻璃，都很需求。增透膜则大量用于照相机和

电视摄象机的镜头上。在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的位置。各种范围的继承电路。包括存贮器、运算器、通知逻辑元

件等都要采用导电膜、绝缘膜和维护膜。作为制备电路的掩膜则用到铬膜。磁带、磁盘、半导体激光器，约瑟夫逊器件、电荷耦

合器件（ CCD ）也都甬道各种薄膜。在显现器件方面，录象磁头、高密度录象带以及平面显现安装的透明导电膜、摄像管光导膜

、显现管荧光屏的铝衬等也都是采用真空镀膜法制备。在元件方面，在真空中蒸发镍铬，铬或金属陶瓷能够制造电阻，在塑料上

蒸发铝、一氧化硅、二氧化钛等能够制造电容器，蒸发硒能够得到静电复印机用的硒鼓、蒸发钛酸钡能够制造磁致伸缩的起声元

件等等。真空蒸发还能够用于制造超导膜和惯性约束剧变反响用的微珠镀层。此外还能够对珠宝、钟表外壳外表、纺织品金属花

纹、金丝银丝线等蒸镀装饰用薄膜，以及采用溅射镀或离子镀对刀具、模具等制造超硬膜。近两年内所兴起的多弧离子镀制备钛

金制品，如不锈钢薄板、镜面板、包柱、扶手、高档床托架、楼梯栏杆等目前正在盛行。